Bơm chân không là thiết bị tạo ra môi trường chân không bằng cách chiết xuất các phân tử khí từ không gian kín thông qua các phương tiện cơ học, vật lý hoặc hóa học.
Bơm cơ học: Những máy bơm này trực tiếp nén và xả khí thông qua chuyển động cơ học (chẳng hạn như cánh quạt quay hoặc pít-tông), phù hợp với chân không thô (10^3-10^-1 Pa), chẳng hạn như máy bơm cánh gạt quay và máy bơm van trượt.
Bơm phân tử: Những máy bơm này sử dụng cánh quạt quay tốc độ cao (đạt hàng chục nghìn vòng/phút) để dẫn hướng các phân tử khí theo hướng đến cổng xả, phù hợp với chân không cao (10^-1-10^-7 Pa).
Bơm khuếch tán: Những máy bơm này sử dụng dầu hoặc hơi nước nóng để tạo ra một tia-tốc độ cao mang các phân tử khí đi xuống và được thải ra bằng bơm hỗ trợ. Chúng yêu cầu sử dụng máy bơm cơ học và có thể đạt được độ chân không cực cao (dưới 10^-7 Pa).
Máy bơm đông lạnh: Những máy bơm này ngưng tụ và hấp thụ các phân tử khí thông qua bẫy lạnh (heli lỏng hoặc tủ lạnh), phù hợp với môi trường chân không sạch, không có dầu.
Bơm hấp phụ: Những máy bơm này sử dụng khả năng hấp phụ vật lý của vật liệu xốp (chẳng hạn như sàng phân tử) để bẫy các phân tử khí, thường được sử dụng để-hút chân không trước. Các thông số chính bao gồm chân không cuối cùng (áp suất thấp nhất có thể đạt được), tốc độ bơm (lượng khí được bơm trên một đơn vị thời gian), công suất và khả năng tương thích của môi trường (ví dụ: cần có vật liệu đặc biệt cho khí ăn mòn). Việc lựa chọn phải dựa trên việc xem xét toàn diện các yêu cầu của quy trình (ví dụ: ngành công nghiệp bán dẫn yêu cầu máy bơm không dùng dầu), chi phí và độ phức tạp của việc bảo trì.
